企业简介
![北京中科信电子装备有限公司](http://img.czvv.com/logo/4c33238b97532dadef3ef0e9/4c33238b97532dadef3ef0e9.png)
北京中科信电子装备有限公司的工商信息
- 110112005738656
- 911101127513429762
- 开业
- 有限责任公司(法人独资)
- 2003年06月04日
- 龚杰洪
- 30000.000000
- 2003年06月04日 至 2023年06月03日
- 北京市工商行政管理局通州分局
- 2017年12月20日
- 北京市通州区中关村科技园区通州园光机电一体化产业基地兴光二街6号
- 制造半导体专用设备;生产晶体硅太阳能电池组件、光伏发电系统设备;15兆瓦太阳能分布式并网光伏发电;施工总承包;专业承包;工程勘察设计;建设工程项目管理;集成电路制造工艺及设备的技术开发、技术转让、技术服务;货物进出口、技术进出口、代理进出口业务。(企业依法自主选择经营项目,开展经营活动;依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动;不得从事本区产业政策禁止和限制类项目的经营活动。)
北京中科信电子装备有限公司的域名
类型 | 名称 | 网址 |
网站 | 北京中科信 | www.zhongkexin.com.cn |
北京中科信电子装备有限公司的商标信息
北京中科信电子装备有限公司的专利信息
序号 | 公布号 | 发明名称 | 公布日期 | 摘要 |
1 | CN101000870A | 控制离子注入的方法和装置 | 2007.07.18 | 本发明公开了一种控制离子注入的方法和装置,该装置包括产生束流装置、晶片、法拉第杯、晶片驱动器、控制器 |
2 | CN100456427C | 控制离子注入的方法和装置 | 2009.01.28 | 本发明公开了一种控制离子注入的方法和装置,该装置包括产生束流装置、晶片、法拉第杯、晶片驱动器、控制器 |
3 | CN2788345Y | X方向可调节的离子源引出装置 | 2006.06.14 | 一种X方向可调节的离子源引出装置,通过固定法兰(4)固定于离子源三通上,丝杆螺母副(12)穿过齿轮传 |
4 | CN2788351Y | 一种靶室片库充氮装置 | 2006.06.14 | 本实用新型公开了一种靶室片库充氮装置,其包括:一小法兰、一光滑放气板、一粗糙放气板、三个连接螺柱、一 |
5 | CN101038851A | 一种用于离子注入机的高压自动放电装置 | 2007.09.19 | 本发明是一种用于快速释放残余高压和静电的装置,用于离子注入机中高压仓或高压区机房架残余高压和静电释放 |
6 | CN2849953Y | 一种气动控制多点安全锁装置 | 2006.12.20 | 本实用新型公开了一种气动控制多点安全锁装置,包括一手动气阀、一电动气阀、一气路分配多通接头和一个或一 |
7 | CN2788346Y | 平行束测量及平行度矫正控制系统 | 2006.06.14 | 本实用新型公开了一种平行束测量及平行度矫正控制系统,它由偏转单元、束平行单元、加速单元、移动法拉第、 |
8 | CN101038869A | 水冷等离子淋浴器 | 2007.09.19 | 本发明提供一种等离子淋浴器,能够产生中和用电子,用于在离子注入工艺中,在被注入晶片上产生的静电积累进 |
9 | CN102956429B | 一种用于宽束离子注入机的引出电极系统 | 2016.08.03 | 本发明提供一种用于宽带束离子注入机的引出电极系统,包括:Y1方向运动机构(1),移动支架(2),安装 |
10 | CN2788340Y | 一种高压继电器 | 2006.06.14 | 本实用新型公开了一种高压继电器,包括:一绝缘外壳、一驱动气缸、一驱动摆杆、一摆动连杆和一组或一组以上 |
11 | CN105893378A | 一种离子注入机的运行数据保存与显示方法 | 2016.08.24 | 本发明阐述了一种离子注入机的运行数据保存与显示方法,其特征在于离子注入机运行时产生的大量的各种类型的 |
12 | CN103794529B | 一种定位台上确定晶片圆心偏移矢量 | 2016.12.21 | 本发明公开了一种定位台上确定晶片圆心偏移矢量的方法,包括:旋转轴(1)、控制器(2)、晶体定位台(3 |
13 | CN103794454B | 一种束流均匀性调节装置 | 2016.06.22 | 本发明公开了一种束流均匀性调节装置,包括:束线通道(1)、电极腔体(2)、电极盖板(3)、引线安装法 |
14 | CN102534536B | 一种硅片台多轴运动装置 | 2016.06.08 | 本发明公开了一种硅片台多轴运动装置,主要包括:硅片台自转机构(1)、硅片台倾斜机构(2)、竖直和摆动 |
15 | CN2787677Y | 用于离子源重金属离子引出的坩埚蒸发器 | 2006.06.14 | 一种用于离子源重金属离子引出的坩埚蒸发器包括:支撑座、加热灯、温度传感器、石墨坩埚、送气杆、支撑板。 |
16 | CN102956423B | 一种负压力探测联锁方法 | 2016.06.08 | 一种负压力探测联锁方法,包括:负压力探测器,联锁控制电路。其特征在于,当探测器检测到负压时,负压力探 |
17 | CN2788450Y | 偏转扫描放大器 | 2006.06.14 | 本实用新型公开了一种偏转扫描放大器,包括:比较放大器、放大器高压输出级、直流高压放大器,所述的直流高 |
18 | CN103792566B | 一种测量束流的法拉第装置 | 2016.12.28 | 本发明公开了一种束流的法拉第测量装置,包括:密封插座(1)、法拉第杯安装板(2)、法拉第收集框(3) |
19 | CN103777530B | 一种直流电源输出换向系统 | 2017.02.15 | 本发明涉及一种将直流电源输出换向的技术领域,特别是应用在不同工作电位的离子注入机直流电源输出换向技术 |
20 | CN104465478B | 一种静电吸盘的加工方法 | 2017.01.25 | 本发明公开了一种静电吸盘的加工方法,将含有电极金属的流体通过物理的方式在电介质层上生成图案。然后将其 |
21 | CN106160598A | 一种简单可靠的24V直流电机驱动控制方法 | 2016.11.23 | 本发明设计了一种24v直流电机驱动控制系统,如图1所示,包括:(1)工控机(2)光纤(3)电源输入输 |
22 | CN104037044B | 一种离子束垂直聚焦装置 | 2016.09.28 | 本发明公开了一种离子束垂直聚焦装置,所述离子束垂直聚焦装置包括具有透镜腔体的壳体,以及装在壳体上的盖 |
23 | CN105895479A | 一种离子束检测装置 | 2016.08.24 | 本发明公开了一种离子束检测装置,包括:离子束流检测模块、预过滤光栏模块、支撑板等,所述离子束流检测模 |
24 | CN105895486A | 一种带电粒子束流偏转磁场结构及应用该结构的离子注入机 | 2016.08.24 | 本发明涉及用于偏转带电粒子束流的磁场结构。本发明提供了一种新型磁场结构,使束流在水平平面偏转的同时使 |
25 | CN105895484A | 一种离子注入机的可选择的连锁配置方法 | 2016.08.24 | 本发明公开了一种离子注入机的可选择的连锁配置方法,通过软件界面来控制设备开关,包括操作界面(1)、设 |
26 | CN105898948A | 一种闭环反馈稳定LED光源阵列的电路与方法 | 2016.08.24 | 本发明公开了一种闭环反馈稳定LED光源阵列的电路与方法,属于半导体装备领域。闭环反馈稳定LED光源阵 |
27 | CN105893379A | 一种离子注入机的注入数据实时处理与保存方法 | 2016.08.24 | 本发明阐述了一种离子注入机晶片注入时采集的数据实时处理和保存方法,其特征在于离子注入机注片时数据采集 |
28 | CN105895732A | 一种太阳能电池片插片装置 | 2016.08.24 | 本发明公开了一种太阳能电池片插片装置,包括):传片装置(1)、翻片装置(2)、插片装置(3)、石英舟 |
29 | CN105895483A | 一种离子注入剂量检测与控制的系统 | 2016.08.24 | 本发明涉及一种离子注入剂量检测与控制的技术领域,涉及离子注入机,属于半导体制造领域。一种离子注入剂量 |
30 | CN105898949A | 一种离子注入机的照明连锁装置 | 2016.08.24 | 一种离子注入机的照明连锁装置。包括主电路和控制电路。该装置特征在于,照明可以实现连锁控制。打开任意门 |
31 | CN105895481A | 一种离子注入剂量控制方法 | 2016.08.24 | 本发明公开了一种离子注入剂量控制方法,包括如下几个模块:(1)通讯控制,上位机与单片机之间的数据传输 |
32 | CN105895487A | 宽带离子束水平均匀性调节方法 | 2016.08.24 | 本发明涉及一种宽带束离子束水平均匀性调节方法,包括下列步骤:初始化所有磁极,并采集束流水平剖面数据, |
33 | CN105895482A | 一种利用小波变换滤除离子注入机打火产生的噪声的方法 | 2016.08.24 | 本发明公开了一种利用小波变换滤除离子注入机打火产生的噪声的方法,属于数字信号处理领域。此种信号处理系 |
34 | CN105888434A | 一种在线安全关门系统 | 2016.08.24 | 本发明讲述的是一种在线安全关门系统,该系统包括:控制器(1)、关门控制电路(2)、关门执行电路(3) |
35 | CN105895485A | 一种离子注入机的靶台识别晶片是否存在的方法 | 2016.08.24 | 本发明公开了一种离子注入机的靶台识别晶片是否存在的方法,包括晶片(1)、静电吸盘(2)、供电导线(3 |
36 | CN105897084A | 一种直流电机控制电路 | 2016.08.24 | 本发明公开了一种直流电机控制电路,属于半导体装备领域。所要解决的技术问题是为半导体装备提供一种直流电 |
37 | CN105895549A | 一种离子注入机绝缘环组件 | 2016.08.24 | 本发明提供一种离子注入机绝缘环组件,该绝缘环组件用于完成低能大束流离子注入机能量减速系统,它将整个离 |
38 | CN105895480A | 一种离子束流采集装置 | 2016.08.24 | 本发明公开了一种离子束流采集装置,包括):接束杯(1)、前挡光板(2)、气冷装置(3)、侧挡光板(4 |
39 | CN105895550A | 一种机械手互锁控制方法 | 2016.08.24 | 本发明公开了一种离子注入机机械手的控制方法,包括:工控机(1)、PDI控制器(2)、机械手(3)、继 |
40 | CN105889045A | 一种离子注入机的自动手动真空模块切换的方法 | 2016.08.24 | 本发明公开了一种离子注入机的自动真空手动真空模块切换的方法,通过软件界面来控制设备开关,包括自动按钮 |
41 | CN105895493A | 一种离子引出装置 | 2016.08.24 | 本发明公开了一种离子引出装置,包括:离子引出模块、引出驱动模块、水冷模块、真空滑动模块,所述离子引出 |
42 | CN105891683A | 一种电源glitch检测电路 | 2016.08.24 | 本发明公开了一种电源glitch检测电路,属于半导体制造领域。电源glitch检测电路包括:1、电压 |
43 | CN105880125A | 一种靶台动密封的方法 | 2016.08.24 | 本发明公开了一种靶台动密封的方法,包括:顶架腔(一)(1)涂层(2)、U型密封圈(3)、O型密封圈( |
44 | CN104409313B | 一种离子质量分析装置 | 2016.08.17 | 本发明公开了一种离子质量分析装置,包括分析磁铁模块和束线真空模块,所述分析磁铁模块包括上磁极板和下磁 |
45 | CN103094032B | 一种多电极束流聚焦调节装置 | 2016.08.10 | 本发明公开了一种多电极束流聚焦调节装置与方法,包括:主控计算机(1)、光纤通信卡(2)、I/O信号控 |
46 | CN102445901B | 一种离子源自动稳弧流的方法 | 2016.06.22 | 本发明公开了一种离子源自动稳弧流的方法,离子源装置包括阴极(1)灯丝(2)、弧室(3)、弧压电源(4 |
47 | CN105652696A | 一种高压输出安全放电电路 | 2016.06.08 | 本发明讲述的是一种高压输出安全放电电路,该电路包括:控制器(1)、放电执行电路系统(2)、高压区域隔 |
48 | CN105655218A | 一种离子注入加速装置 | 2016.06.08 | 本发明公开了一种离子注入加速装置,包括:入口装置(1)、加速模块(2)、绝缘环(5)、均压模块(3) |
49 | CN103794455B | 一种减速电极驱动装置 | 2016.05.18 | 本发明公开了一种减速电极驱动装置,包括:X轴驱动机构(1)、Z轴驱动机构(2)、真空模块(3)、真空 |
50 | CN104201081B | 一种宽束离子注入机均匀性调节装置 | 2016.05.18 | 本发明公开了一种宽束离子注入机均匀性调节装置。为了解决宽带束均匀性难以控制的问题,所述调节装置包括分 |
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